第三届电子元器件关键材料与技术研讨会会议纪要

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目 录

会议组织机构

主办单位：中国仪表功能材料学会电子元器件关键材料与技术专业委员会承办单位：西安电子科技大学先进材料与纳米科技学院

协办单位：桂林电子科技大学材料科学与工程学院教育部"电子信息材料与器件"工程研究中心

报到时间：2021 年 5 月 7 日

会议时间：2021 年 5 月 6 日~5 月 9 日报到地点：陕西宾馆

会议地点：陕西宾馆

住宿酒店：陕西宾馆及周边其他酒店

会务组联系人：杨如森（总负责，17795931226）

崔康（18509232365）

石文超（15522022395）

苏婧（陕西宾馆经理，18629566280）

程亚静（凯立会展公司负责人，15389231343）

会议日程

报告：广义超材料：超材料与常规材料的融合

周济

清华大学材料学院教授，中国工程院院士

新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室学术委员会主任中国材料研究学会超材料分会理事长

获国家自然科学二等奖和国家技术发明二等奖各1项

报告人简介：

周济，清华大学材料学院教授，中国工程院院士。1962 年 2 月生于吉林九台。1983 年毕业于吉林大学电子科学系，1986 年在中国科学院长春物理研究所获理学硕士学位， 1991 年在北京大学化学系获理学博士学位，1993 年在清华大学材料系博士后出站留校工作至今。任新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室学术委员会主任、中国材料研究学会超材料分会理事长、中国电子元件行业协会科学技术委员会主任等。长期从事信息功能材料的研究，发展出了高性能低温烧结软磁铁氧体和低温共烧陶瓷（LTCC）介质材料， 解决了无源电子元器件片式化和集成的关键技术难题，推动了国内片式电感器和无源集成产业的形成和发展；提出了通过超材料与自然材料的融合构筑新型功能材料的思想， 率先发展出了非金属基超常电磁介质等新型材料。发表学术论文 400 余篇，出版学术专

著 2 部，授权发明专利 44 项，作为第一完成人获国家自然科学二等奖和国家技术发明

二等奖各 1 项，并获国家杰出青年基金、教育部长江学者特聘教授、全国优秀科技工作者等荣誉称号。

报告：面向宇宙探索的地外生存与人工光合成技术

邹志刚

中国科学院院士，发展中国家科学院院士南京大学物理学和材料学博士生导师

两届国家重点基础研究发展计划“973”项目首席科学家教育部创新团队负责人

获国家自然科学二等奖

报告人简介：

邹志刚，1955 年 3 月生于天津市，籍贯山东黄县，材料学专家。日本东京大学理学博士，南京大学物理学和材料学博士生导师，中国科学院院士，发展中国家科学院院士。教育部“长江学者奖励计划”特聘教授，两届国家重点基础研究发展计划“973”项目首席科学家，教育部创新团队负责人，中国光化学及光催化专业委员会主任委员，总装备部“国民核生化灾害防护国家重点实验室”学术负责人。兼任日本北海道大学特任教授和日本国家材料研究所（NIMS）客座研究员。长期从事光催化材料的设计、制备、反应机理及其应用的基础研究。在 Nature 、PRL 、Advanced Materials 、Angew Chem Int Ed 、 JACS 等**国际期刊发表 SCI 科学论文 560 余篇，他引 20148 余次。获国家发明专利 77 项、美国专利 1 项、日本专利 2 项，7 项发明专利已成功进行产业化转化。2012、2016 年获江苏省科学技术一等奖，2014 年获得国家自然科学二等奖。

现为南京大学环境材料与再生能源研究中心主任，江苏省纳米技术重点实验室主任，南京大学昆山创新研究院院长。

报告：从新时代小能源到蓝色大能源

王中林

中国科学院北京纳米能源与系统研究所所长佐治亚理工学院终身校董事讲席教授

中科院外籍院士欧洲科学院院士

加拿大工程院外籍院士

报告人简介：

王中林，中国科学院北京纳米能源与系统研究所所长，佐治亚理工学院终身校董事讲席教授。王教授是 2019 年爱因斯坦世界科学奖(Albert Einstein World Award of Science)、2018 年埃尼奖 (ENI award–The “Nobel prize”for Energy)、2015 年汤森路透引文桂冠奖、2014 年美国物理学会 James C. McGroddy 新材料奖、和 2011 年美国材料学会奖章(MRS Medal)等国际大奖得主。他是中科院外籍院士、欧洲科学院院士、加拿大工程院外籍院士，国际纳米能源领域**刊物 Nano Energy （*新 IF：16.6）的创刊主编和现任主编。

王院士是纳米能源研究领域的奠基人。他发明了压电纳米发电机和摩擦纳米发电 机，首次提出自驱动系统和蓝色能源的原创大概念，将纳米能源定义为“新时代的能源”。王中林院士开创了压电电子学和压电光电子学两大学科，他提出的原创新物理效应引领了第三代半导体纳米材料的基础研究，使氧化锌纳米结构成为与碳纳米管和硅纳米线同等重要的一类材料研究体系。根据 Google Scholar，王中林教授论文引用超 28 万次，标志影响力的 H 指数是 257，目前在全球材料科学总引用数和 H 指数排名世界第一; 世界横跨所有领域前 10 万科学家终身科学影响力排第 5 名，2019 年年度科学影响力排第 1 名。

报告：介电弛豫现象与其等效模型

魏晓勇

西安交通大学 教授、博导国家自然科学奖获得者

教育部自然科学奖获得者

全国百篇优秀博士学位论文获得者教育部新世纪人才

报告人简介：

魏晓勇，西安交通大学电子科学与工程学院教授，电子陶瓷与器件教育部重点实验室主任，从事高性能、高可靠电子材料与器件的基础研究和应用开发，主持科技部、基金委、教育部等重要科研项目 10 余项，研究成果发表学术论文 SCI 收录百余篇，申请和授权国家发明专利 10 余项。曾获国家自然科学奖、教育部自然科学奖、全国百篇优秀博士学位论文、陕西省青年科技奖、电介质专委会优秀青年奖，入选教育部新世纪人才计划、欧盟玛丽居里学者，担任 Journal of Advanced Dielectrics 期刊副主编。

报告摘要：电介质的弛豫介电响应是一类重要的实验现象，从时域响应角度表现为极化对电场的滞后响应，从频域角度表现为频率弥散以及等效的温度响应变化，两者之间可以通过傅里叶变换建立关联，以德拜弛豫为例对上述过程进行讨论，采用等效电路模型和等效机械模型对弛豫型极化、谐振型极化以及漂移型极化进行分析，并对普适极化弛豫进行初步介绍。

报告：高功率 IGBT 及模块封装的技术挑战

报告人简介：

朱文辉

中南大学 教授、博导

国家中组部“千人计划”特聘专家

国家重点基础研究计划（973）项目首席科学家

（2015-2019）

长沙安牧泉智能科技有限公司董事长，创始人

朱文辉，中南大学机电学院“千人计划”特聘教授（期间，2014-2019 年任微电子制造科学与工程系创建系主任），创建长沙安牧泉智能科技有限公司，任董事长、总经理，主要从事纳/微电子先进封装与测试技术研发；三维集成可靠性；先进封装测试企业的全面运营管理、战略规划与团队建设。2010 年回国加入 T 封装公司，历任 CTO/CEO/ 研究院院长；国家重点基础研究“973”计划**封装项目首席科学家，获科技部评优， 在芯片三维集成方面取得多项技术突破；国家重大科技 02 专项总体组论证专家；中国半导体封装与测试产业技术创新战略联盟咨询专家；湖南省/长沙市集成电路设计与应用产业联盟专家委员会主任委员；华为半导体创建董事；创建了国内第一个先进封装研究院（2011）；建立先进封装表征实验室（2006-2008）；主持完成国家科技重大 02 专项

1 项（2011-2014），获评优；获国家华侨贡献一等奖（2018）。

报告摘要：绝缘栅双极晶体管（IGBT）是实现电能变换和控制的技术关键，其广泛应用离不开可靠的封装。模块封装涉及热学、电学、力学、材料等多学科交叉，其可靠性研究及优化设计对功率模块发展及其产业化意义重大。中南大学朱文辉教授课题组围绕 IGBT 功率模块封装可靠性相关问题，对影响模块可靠性的几个因素（热管理、引线键合、焊料层和倒装双面焊接）开展可靠性试验研究和分析，并在此基础上提高可靠性为目的提出相应的优化设计方案；取得了良好的效果。本报告简单介绍了本人在上述领域取得的一些进展和好的结果。

报告：微波毫米波材料电磁特性高精度测试技术 研究

姜万顺

中国电子科技集团公司 首席专家、研究员级高工全国五一劳动奖章获得者

国务院政府特殊津贴专家

安徽省战略性新兴产业技术领军人才安徽省学术和技术带头人

报告人简介：

姜万顺，中国电子科技集团公司首席专家，研究员级高工，全国五一劳动奖章获得者，国务院颁发的政府特殊津贴专家，安徽省战略性新兴产业技术领军人才，安徽省学术和技术带头人。中国电子学会太赫兹科学与技术专业委员会，中国电子学会微波分会毫米波、亚毫米波专业委员会，中国兵工学会太赫兹应用技术专业委员会，中国兵工学会复杂辐射场技术及应用专业委员会委员。长期从事微波毫米波工程技术及电子测试技术研究，在微波毫米波与太赫兹系统与整部件设计、电子测试技术与测试仪器等方面有较丰富实践经验。科研成果荣获国家科技进步二等奖 1 项，国防科技进步奖二等 5 项，

安徽省科学技术一等奖 1 项，三等奖 1 项，仪器仪表学会科技进步一等奖 1 项。发表

SCI 和 EI 收录论文 40 余篇，获授权发明专利 50 余项。

报告摘要：随着通讯技术的发展，目前电磁波研究已逐渐由微波频段向毫米波甚至THz 频段推进，与 5G 的发展如影随行，高频化是微波元器件发展的必然趋势，作为通讯设备及元器件的关键材料，其介电常数、损耗等电磁参数对设备及器件*终性能起决定性作用，本文根据不同材料类型和特性进行分析，开展了不同测试方法的测试技术研究，为 5G 新材料研发提供电磁参数测试手段。

报告：电子元器件/组件模块小型化设计对材料 及工艺的要求

庞锦标

中国振华集团云科电子有限公司    博士、研究员贵州省第十一批优秀青年科技人才

中国振华集团电子有限公司首席技术专家中国电子学会优秀科技工作者

贵州省科学技术进步三等奖2项享受国务院特殊津贴

报告人简介：

庞锦标，博士，研究员。2012 年 6 月毕业于武汉大学物理学专业，获博士学位，2012 年 7 月加入中国振华集团云科电子有限公司。目前专注于电子功能材料及相关电子元器件的研发，具备较丰富的应用研究经验和理论基础，在介质陶瓷粉料、介质陶瓷基片、LTCC/HTCC 用系列材料、多层共烧异质陶瓷、微波介质陶瓷等电子功能材料方面有深入研究；并基于厚膜、薄膜、LTCC/HTCC 等工艺技术平台，将高性能电子功能材料推广应用于电子元器件、组件及模块等领域，实现相关电子产品的超小型化与高密度集成。

作为项目负责人主持国家及省级科研项目 13 项，发表论文 11 篇；申请及授权发明

专利 28 件。入选贵州省 “千”层次创新型人才、贵州省第十一批优秀青年科技人才、中国振华集团电子有限公司首席技术专家。获中国国防科技工业企业管理创新成果三等 奖、省级贰等企业管理现代化创新成果奖、贵州省国防工业系统创新创意大赛一等奖、CEC 突出贡献科技工作者、中国电子学会优秀科技工作者、贵州省第八届优秀科技工作者、中国振华“十二五”重大科技成果奖、贵州省科学技术进步三等奖 2 项、国务院特殊津贴等奖励。

报告摘要：本报告将从电子元器件/组件模块小型化设计为出发点，结合相关元器件及组件模块设计加工实例，阐述 3D 结构超小型化电子元器件/组件模块对电子材料及工艺技术的要求：包括高介低温度系数介电陶瓷、有机无机复合微波介质板材、多层共烧陶瓷及配套电子浆料等电子功能材料；以及厚膜、薄膜、LTCC、HTCC、TSV、TGV、SOC、SIP 等先进电子线路及封装工艺技术。

报告：高性能元器件用电子浆料及贵金属粉的应 用分析

张韶鸽

广东肇庆市辰业电子有限公司 总经理、创始人高级工程师

报告人简介：

张韶鸽，1974 年出生，河南漯河人，现任广东肇庆市辰业电子有限公司总经理、创始人，高级工程师。长期从事电子浆料于贵金属粉的技术研发与产业化工作，曾参与过多项省级、市级重大项目的研发，共获得过广东省科学技术奖一等奖 2 项，一等奖 1 项；

肇庆市科学技术奖一等奖 1 项，肇庆市科学技术奖三等奖 2 项，获得授权国内发明专利

6 项，实用新型专利 8 项。

报告摘要：本文除了对电子元件所使用浆料的进行了简单的分类说明外；重点介绍了多款银粉的形貌、特性；叠层电感银浆在产品设计中如何选择不同的银粉来满足相对应的性能要求，以及银浆在叠层电感产品应用中对其各类性能及外观影响；*后简单分析了电子元件银浆行业目前所面临的机遇与挑战。

报告：功能材料电学性能表征技术发展与应用

方辉

武汉佰力博科技有限公司    总经理、创始人

报告人简介：

方辉，武汉佰力博科技有限公司创始人，2003 年毕业于武汉大学电子信息工程专业；长期从事极端条件下功能材料电学性能表征技术开发以及专业测量仪器研制，主要包括介电、压电、铁电、热释电、导电、敏感等电学性能的测量，国内率先提出材料电学性能表征和测量概念并积极推进材料电学性能表征和测量领域的发展。经过多年创新和沉淀，已经掌握高压驱动、微弱信号检测、高通量筛选、多场融合测量、真空密封保存等多项核心专利技术，公司已经获得 10 余项发明和实用新型专利，其中 MRVS 系列真空封管机填补国内空白，DMS 系列介电阻抗温谱与进口产品相媲美，RMS 系列电阻测量覆盖全量程，MPT 系列 100 通道 50KV 高压极化仪开启产业化应用。

报告摘要：随着 5G、工业互联网、人工智能 AI、新基建等领域的迅猛发展，功能材料电学性能表征和测量技术正朝着快速 、简便 、精确 、自动化和多功能等方向发展, 已经成为一种多门类、跨学科的综合性技术，传统的电学性能表征和测量技术遇到了极大的挑战。报告将以铁电压电功能材料为代表，详细阐述功能材料在常规测量方法和手段遇到的挑战，针对新应用需求发展出的*新表征和测量技术、国内外材料电学性能表征技术和测量仪器的分析、以及未来功能材料电学性能表征技术和测量仪器的发展趋势。

报告：HfO₂基铁电薄膜的可控制备及其在存储器中的应用

廖敏

西安电子科技大学教授、博导

报告人简介：

廖敏，男，博士，西安电子科技大学先进材料与纳米科技学院教授。2012 年获得东京工业大学工学博士学位。博士毕业后在 JSPS 基金的资助下，在该校继续从事微电子器件集成工艺方面的研究。2013 年，加入该校元素战略研究中心，2015 年被聘为该研究中心的助理教授。2016 年归国致力于铁电薄膜及其存储器的研究，主持获批 JKE、ZFB、国家自然科学基金面上等项目。在 Adv. Mater.、Adv. Funct. Mater.、Nat. Commun.、IEEE Electron Device Lett.和 IEEE Trans. Electron Device 等期刊上发表论文 50 余篇；申请国家发明专利 20 余项。入选湖南省“青年百人计划”、“湖湘青年英才”、日本学术振兴会(JSPS)特别研究员等人才计划，荣获“中国电介质物理优秀青年奖”等奖励。

报告摘要：HfO2 基铁电薄膜具有与先进 CMOS 工艺兼容、可微型化潜力大等优点， 为我国实现大容量铁电存储器的自主可控提供了机会。目前人们基本上认为 HfO2 的铁电性来源于正交相。然而，由于正交相比单斜相能量要高，所以在常温常压下正交相不能稳定存在。因此，弄清 HfO2 铁电相的形成机制和阐明 HfO2 基铁电存储单元的界面调控作用机理是实现 HfO2 基铁电薄膜可控制备及其在存储器中应用的关键。基于此，我们主要针对 HfO2 基薄膜中铁电相的形成机制及铁电存储器单元界面调控作用机理开展了理论和实验研究。在本报告中，我将汇报课题组在上述基础研究方面的进展情况，并重点介绍课题组在 HfO2 基铁电存储器研制与应用验证方面的初步研究成果。

报告：分子动力学模拟在压电纳米发电机理论研 究中的应用

谭丹

北京纳米能源与系统研究所助理研究员

报告人简介：

谭丹博士现就职于北京纳米能源与系统研究所，担任助理研究员职位。她于 2013、2018 年分别在天津大学机械工程学院获学士、博士学位，并于 2016 年以国家公派联合培养博士生身份赴美国乔治华盛顿大学交流。主要从事低维压电纳米发电机的理论研 究。在 Advanced Functional Materials、Nano Energy、Journal of Sound and Vibration 等期刊上发表 SCI 论文 10 余篇，主持参与国家自然科学基金、高等学校博士学科点专项科研基金、天津市应用基础与前沿技术研究计划等课题。

报告摘要：压电纳米发电机由王中林院士于 2006 年首次提出，这种技术可以将周围环境中的能量收集起来，驱动纳米器件独立、持久、长时间免维护运行。分子动力学模拟根据牛顿运动定律，跟踪系统中每个粒子的运动轨迹，从而预测宏观可测量（如温度、能量、热导率等）。在压电纳米发电机的理论研究过程中，分子动力学模拟方法可从原子角度理解纳米结构的压电特性，包括计算氧化锌纳米线在形变过程中产生的压电电势、计算多层二硫化钼的压电常数、计算二维氧化锌结构在弯曲状态下产生的面外压电极化强度变化、研究以二维材料为主体的压电悬臂梁能量采集器的性能输出等等，这些模拟计算建立了理论分析与实验测量之间的联系，对于优化压电纳米发电机的性能与设计有重要作用。

西安电子科技大学简介

西安电子科技大学是以信息与电子学科为主，工、理、管、文多学科协调发展的全国重点大学，直属教育部，是国家“优势学科创新平台”项目和“211 工程”项目重点建设高校之一、国家双创示范基地之一、首批 35 所示范性软件学院、首批 9 所示范性

微电子学院、首批 9 所获批设立集成电路人才培养基地和首批**网络安全学院建设示范项目的高校之一。2017 年学校信息与通信工程、计算机科学与技术入选国家“双**” 建设学科。

学校前身是 1931 年诞生于江西瑞金的中央军委无线电学校，是毛泽东等老一辈革命家亲手创建的第一所工程技术学校。1958 年学校迁址西安，1966 年转为地方建制， 1988 年定为现名。

建校 90   年来，学校始终得到了党和国家的高度重视，是我国“一五”重点建设的

项目之一，也是 1959 年中央批准的全国 20 所重点大学之一。20 世纪 60 年代，学校就以“西军电”之称蜚声海内外。毛泽东同志曾先后两次为学校题词：“全心全意为人民服务”、“艰苦朴素”。

在全面建设社会主义现代化国家新征程中，西安电子科技大学将继续坚持走内涵式发展道路，秉承“全心全意为人民服务”的办学宗旨，坚持“立足西部、育人育才、强军拓民、服务引领、团结实干”的发展思路，坚持立德树人根本任务，全面提升教育质量，为把学校建设成为电子信息特色鲜明的**大学而不懈奋斗！

西安电子科技大学先进材料与纳米科技学院简介

先进材料与纳米科技学院（简称“材料学院”）是 2013 年成立的创新研究型学院， 致力于半导体材料、功能陶瓷材料、纳米材料与应用、材料电化学等领域培养**人才、锻造**师资队伍，逐步形成电子信息特色鲜明、元器件关键材料技术优势明显的创新型学院。中国科学院院士郝跃教授担任学院首任院长， 西电杰出校友、中国科学院外籍院士、欧洲科学院院士王中林教授担任学院名誉院长、学术委员会主任。2020 年，我校“材料科学”（Materials Sciences）进入 ESI 国际排名前 1%。

学院设有材料科学与工程一级学科博士学位授权点、硕士学术学位授权点；材料与化工硕士专业学位授权点；材料科学与工程、应用化学、纳米材料与技术 3 个本科专业； 下设材料科学与工程系、应用化学系、纳米材料与技术系。建设有智能生物材料及应用研究所，应用化学省级实验教学中心、材料科学与工程省级实验教学中心、智能传感交叉前沿研究中心、压电电子学前沿交叉研究中心。

学院现有专任教师 71 人，专职教授 12 人、副教授 27 人。其中***教学名师 1

人、***人才项目入选者 13 人次、省级人才项目入选者 5 人次、“华山学者”岗位

13 人，专任教师中 50%具有国际高水平科研院所交流学习经历。

学院建设有***虚拟仿真实验教学项目 1 个、陕西省实验教学示范中心 2 个以及

开放实验室 21 个。建有“先进材料与器件制备分析中心”，拥有原子层沉积系统、磁控溅射以及程序精密控制气氛炉等先进材料生长制备设备，拥有 X 射线衍射分析仪、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜等测试仪器，具备从先进材料的合成制备、结构表征、性能测试到微纳器件研发的良好条件，为培养创新型人才和科学研究提供完善的平台，并对相关科研机构提供共享服务、辐射周边企业。

交通信息

一、酒店信息

酒店名称：陕西宾馆

酒店地址：西安市雁塔区丈八北路 1 号联系电话：029-88768555

联系人：苏婧 18629566280

二、交通信息

A 机场抵达：酒店距离机场 38 公里

1、打车预计 45 分钟，约 90 元。

2、在西安咸阳国际机场公交站乘坐“机场巴士长安区希尔顿花园酒店线”到达“智选假日酒店公交站”下车后，步行 2.3 公里到达酒店门口（打车预计 9 元）。

B 高铁抵达：酒店距离高铁站 33 公里

1、打车预计 48 分钟，约 70 元。

2、西安北站乘地铁 2 号线到达“南稍门站”换乘 5 号线到达“西北工业大学站” 换乘 6 号线到达“丈八一路站 A 口”下车后步行 1.5 公里到达酒店门口。

C 火车抵达：酒店距离火车站 15 公里

1、打车预计 40 分钟，约 37 元。

2、出站后向东步行 997 米后到达五路口地铁站，乘坐地铁 4 号线到达“建筑科技

大学·李家村站”换乘 5 号线到达“西北工业大学站”换乘 6 号线到达“丈八一路站 A 口”下车后步行 1.5 公里到达酒店门口。

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